台灣東部自22日起餘震不斷，23日凌晨2點26分甚至發生規模6.1地震，全台有感。針對地震頻繁，台積電表示，地震規模尚未到疏散標準，廠務、工安系統均正常，不預期對營運造成影響。
台積電第1季法說會時透露，規模7.2的403大地震影響第2季約0.5個百分點，會後重訊表示在扣除保險認列後，損失金額為30億元，不過EUV曝光機等生產設備未受損，主要是晶圓片損毀或者報廢。
自22日起，台灣東部持續發生規模5以上地震，台積電表示，均未達外部疏散標準。按照台積公司內部程序，少部分廠區無塵室人員第一時間進行預防性疏散以確保人員安全，目前皆已回線。廠務及工安系統等皆正常，人員均安。目前不預期對營運造成影響。