16:47 顏瑞田/高雄報導

中碳建置鹵素純化爐 迎接電動車碳化矽材市場

中碳(1723)3日召開董事會,除了通過8月25日為除息基準日,除息2.8元之外,考量近期電動車產業急速發展,帶動碳化矽(SiC)等高功率元件的化合物半導體原料需求增加,通過在於屏東碳材料生產工廠,建置全台第一座鹵素純化爐,開發高純度碳粉及高純度石墨坩堝,做為生產碳化矽的原料,預計111年08月完成建置,未來將能協助國內長晶業者技術開發,以建立台灣材料自主能力。

中碳表示,董事會投資興建鹵素純化爐案,主要是考量近期電動車產業急速發展,帶動高功率元件的化合物半導體原料,如碳化矽(SiC)、氮化鎵(GaN)等需求增加,其中,碳化矽為最被市場看好的第三代半導體應用。

中碳指出,碳化矽無論是原料端或製程端,都需要使用高純度碳材,產業分為原料粉與長晶,原料粉生產過程需要高純度碳粉與矽粉進行反應,再以PVT(物理氣相傳輸法)方式,將碳化矽粉長成碳化矽單晶,此時,高純度石墨坩堝扮演重要的角色。

但,國內高純度碳材料,因缺乏純化製程而須倚賴進口,導致國內長晶業者自行設計熱場,也因進口坩堝尺寸而受限。

中碳指出,中碳身為國內指標型碳材料供應商,具有發展台灣半導體產業戰略性碳材料供應商的契機及責任,因此,董事會通過在屏東碳材料生產工廠,建置全台第一座鹵素純化爐,開發高純度碳粉及高純度石墨坩堝,以做為生產碳化矽的原料。

中碳表示,此一研發專案預估投入純化設備金額約5700萬元,預計在111年08月完成鹵素純化爐建置,未來,將能協助國內長晶業者技術開發,以建立台灣材料自主能力。

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