專注於半導體晶片曝光設備研發製造的微影半導體公司，日前在台南科學園區舉行產品發表會，正式推出全球第一套採用LED光源投影的曝光機亮相。微影董事長胡德立致詞表示，這是一套高效並具環保的新一代半導體生產設備，將為台灣半導體產業帶來競爭優勢和市場機會，更可望為全球半導體產業帶來革命性的突破。
這套創新發表的曝光機，是由微影半導體董事長胡德立領導的國際團隊，在英國自主研發的成果，經過多年的努力和挑戰，終於在今年成功通過台灣半導體客戶的驗證。胡德立指出，2022年底他將曝光機原型機運到台灣，並成功通過台灣半導體客戶的驗證，並取得了驚人的成果，在獲得客戶預定的多套設備訂單後，決定今年在台灣成立微影半導體公司，並宣布將在台灣量產製造曝光機及配套的塗布顯影及檢測設備。
微影半導體的產品發表會上，吸引眾多媒體，政府部門和業界人士的關注，並對這套創新的曝光機表達高度的讚賞和期待。胡德立分析曝光機市場趨勢指出，投影曝光機公司在各國都是獨角獸企業，也是政府全力支持的項目，所以全球科技強國，也把投影曝光技術放在全球戰略管制瓦森納協議中，我們認為投影曝光技術已經完成了微米-亞微米-奈米級的線寬上的演進，接下來將開始進行節能、高效及無污染的發展，如同印刷電路板曝光機，目前已經由原本的汞燈系統全面替代成LED光源系統，這是全球趨勢，市場需求非常龐大。談到市場面需求，胡德立認為，至少有一萬台左右的汞光源曝光機，需要被汰換，如以一萬台，每套平均價格300萬美元來計算，那就是300億美元，約9000多億台幣的市場規模。
微影半導體投影曝光機的產品優勢，包括： 一、首創採用LED紫外光源，相較於傳統使用的劇毒汞燈，能耗僅為1/100， 不僅節能也減少汞污染。二、 可大幅提升曝光品質和效率，從2吋到12吋的晶圓尺寸，雙面對準系統等，適應各種半導體製程的需求。三、塗佈顯影、曝光、檢測三大黃光核心製程技術完全由國人主導自主研發，並將於台灣設廠生產製造，提供客製化「半導體黃光曝光生態平台」Turn-Key服務。
(中國時報/謝坤成)